隨著科技行業的不斷發展,人們對于產品精度的要求越來越高,對于加工工藝的要求也越來越嚴格。這就使得產品質量檢驗不斷向更高進度更高標準發展,許多樣品檢測開始用上了顯微鏡等微觀設備。尤其是芯片行業,對于精度的要求很高,有些誤差要求0.1um,這也出現了新的問題,普通的光學顯微鏡只能觀測平面圖像,測試平面距離。而3D測量顯微鏡雖然可以測量物品3D形貌,但是價格比較高昂,而且測試速度比較慢,不適合用于高通量樣品的檢驗,而且其對于產品高低差距比較大的樣品測試不是很精準。這個時候輪廓儀就應運而生。
輪廓儀不僅可以在三維層面上測量關鍵尺寸,還可以通過強大的軟硬件配合,測量物體輪廓,體積。其可以選擇不同的插件,可以測試包括但不限于非球面、斑點、凸起、圓墊、同心度、A字切縫、凹陷、邊緣、平面度、激光切割、多臺階高度、探針痕深度、矩形孔、焊接掩模、墊片、球形等等。而且超快的掃描速度和一鍵生成報告,簡直為高通量樣品檢測量身定制。
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