境試驗箱.png "環(huán)境試驗箱")
測儀器.jpg "表面光學檢測")
多功能高分辨場發(fā)射掃描電鏡產品介紹
多功能高分辨場發(fā)射掃描電鏡 Apreo 2 SEM產品介紹：
多功能高分辨場發(fā)射掃描電鏡Apreo SEM特點：
優(yōu)異的空間分辨率及襯度
高分辨率——對于大多數(shù)樣品都能達到納米或亞納米級別的空間分辨率。采用鏡筒內同步成像、信號過濾、復合透鏡等技術，幫助提升性能，達到最佳的分辨率。
廣泛的樣品適用性
對于多種樣品類型都有極佳的樣品靈活性，包括絕緣體、敏感材料、磁性材料等等。這樣的靈活性幫助用戶獲取感興趣樣品的更多的數(shù)據(jù)。
利用ColorSEM技術實時獲取定量能譜數(shù)據(jù)
只需指尖輕輕點擊就可以獲取元素信息，實現(xiàn)實時定量面分布，帶來前所未有的體驗與易用性。
快速簡便的樣品裝載過程
標配的樣品臺可以一次性容納多個樣品，抽真空過程控制到最短時間，保證進樣過程不浪費時間，更加便利地裝載樣品。同時配備自動插拔的壓差光闌（PLA）可以實現(xiàn)高真空與低真空模式之間在毋須開樣品倉的條件下一鍵切換。
高度自動化
高度自動化技術包含F(xiàn)LASH技術（用于自動圖像微調）、撤銷、用戶教程、圖像傾斜與拼接。
大工作距離成像
市場上唯一的在大工作距離（10mm）下仍然保持高空間分辨率（1nm)性能和優(yōu)異的圖像質量的掃描電鏡，即使對于新手用戶，也極易上手操作。
多功能高分辨場發(fā)射掃描電鏡技術參數(shù)
多功能高分辨場發(fā)射掃描電鏡Apreo 2 SEM規(guī)格：
分辨率
30kV下0.7nm(STEM)
15kV下0.5nm(樣品臺減速）
1kV下0.9nm
1kV下0.8nm(樣品臺減速）
1kV下1.0nm（工作距離10mm，樣品臺減速）
500V下0.8nm(樣品臺減速）
200V下1.2nm(樣品臺減速）
30kV下0.7nm(STEM)
15kV下0.9nm(樣品臺減速）
1kV下1.2nm
1kV下1.0nm(樣品臺減速）
500V下1.2nm(樣品臺減速）
標配探測器
ETD、T1、T2、T3、IR-CCD、Nav-Cam+
PivotBeam
選區(qū)電子通道襯度模式（也稱為"搖擺光束"模式）。
選配探測器
DBS、LVD、DBS-GAD、STEM 3+、RGB-CLD、EDS、EBSD、WDS、拉曼光譜、EBIC 等
ColorSEM技術（選配）
基于能譜儀（EDS)實時定量數(shù)據(jù)對掃描電鏡圖像進行著色。可提供的數(shù)據(jù)包含點分析、線掃描、面掃描、譜圖結果及可靠的Noran定量結果
著陸能量范圍
20 eV – 30 keV
樣品臺偏壓（樣品臺減速）
-4000V~+600V
低真空模式
選配：樣品倉氣壓范圍10-500Pa
樣品臺
五軸電動馬達臺，XY軸行程范圍110x110mm2，傾斜范圍-15°~+90°
最大樣品重量：5kg(不傾斜）
最大束流
50 nA（選配 400 nA）
標準樣品臺
一款多功能樣品臺，可以容納18個標準釘臺（φ12mm),有三個預傾斜樁，截面樣品臺和兩個STEM載位
樣品倉
340mm內寬，12個端口，最多同時安裝三個EDS（兩個互為180°），EDS、EBSD共面安裝并與樣品臺的傾轉軸正交
多功能高分辨場發(fā)射掃描電鏡標準配置
多功能高分辨場發(fā)射掃描電鏡可選配件
多功能高分辨場發(fā)射掃描電鏡相關視頻
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